Japan
光塩基発生剤（PBG:Photo Base Generator）は、紫外線の照射によってアニオン（塩基）を発生します。PBGから発生する塩基を利用したアニオンUV硬化技術は、塗料、印刷インキ、歯科材料、フォトレジストなどの様々な分野での応用が期待され、近年注目を集めています。当社では、独自に開発した PBGに加え、東京理科大学・理工学部の有光准教授と共同で製品開発した様々なバリエーションのPBGを取り揃えております。
近年、半導体の最先端デバイスは微細加工のレベルがナノ領域へと進み、すでにArFエキシマレーザーによる3Xnm世代の量産化が始まっています。また、その一方では、2Xnm世代の開発が急ピッチで進められております。このような最先端のフォトレジスト材料に使用される酸発生剤やポリマーの品質は、半導体のナノ領域への微細化に伴い、極めて高度な品質レベルが要求されます。
