Japan
フォトレジスト用ポリマー
キレイな半導体をつくる
KrFレジスト用ポリマー
MWP-240
（30% PGMEA 溶液）
| [Copolymer of 4-(1-ethoxyethoxy)styrene and 4-hydroxystyrene] | |
| CAS RN® | 158593-28-3 |
| [Propylene glycol monomethyl ether acetate（PGMEA）] | |
| CAS RN® | 108-65-6 |
物性
| 外観 | 淡黄色透明液体 |
|---|---|
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：データなし |
関連法規・安全性
| 消防法 | 危険物第四類第二石油類（非水溶性液体） |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 2-3144 |
| 安衛法 | [4-(1-エトキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1016 [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 公表化学物質 |
| 経口毒性（LD50） | ラット 8532mg/kg |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
MWP-241
（30% PGMEA 溶液）
| [4-(1-Cyclohexyloxyethoxy)styrene/copolymer with 4-vinylphenol] | |
| CAS RN® | 199432-81-0 |
| [Propylene glycol monomethyl ether acetate（PGMEA）] | |
| CAS RN® | 108-65-6 |
物性
| 外観 | 形状：透明液体 色：淡黄色 |
|---|---|
| 溶解性 | 水 ：難溶 その他 ：データなし |
関連法規・安全性
| 消防法 | 危険物第四類第ニ石油類（非水溶性液体） |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 |
[4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 告示されていない [プロピレングリコールモノメチル]: 2-3144 |
| 安衛法 | [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1591 [プロピレングリコールモノメチル]: 公表化学物質 |
| 経口毒性（LD50） | ラット 8532mg/kg |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
MWP-307
（30% PGMEA 溶液）
| [Copolymer of 4-(1-cyclohexyloxyrthoxy)styrene/4-(tetrahydropyran-2-yloxy)styrene/4-vinylphenol] | |
| CAS RN® | 950774-21-7 |
| [Propylene glycol monomethyl ether acetate（PGMEA）] | |
| CAS RN® | 108-65-6 |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
物性
| 外観 | 形状：透明液体 色：淡黄色 |
|---|---|
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：データなし |
関連法規・安全性
| 消防法 | 危険物第四類第ニ石油類（非水溶性液体） |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-テトラヒドロピラニルオキシスチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 告示されていない [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 2-3144 |
| 安衛法 | [4-(1-シクロヘキシルオキシエトキシ)スチレンと4-テトラヒドロピラニルオキシスチレンと4-ヒドロキシスチレンの共重合物]: 9-1590 [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)]: 公表化学物質 |
| 変異原性 | 微生物を用いる変異原性試験 陰性（ポリマー成分） |
| 経口毒性（LD50） | ラット 8532mg/kg |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
