Japan
WPAG-170
キレイな半導体をつくる
(Bis(tert-butylsulfonyl)diazomethane)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 138529-84-7 |
|---|---|
| 分子量 | 282.38 |
物性
| 外観 | 形状：結晶性粉末 色：淡黄色～黄色 |
|---|---|
| 融点（分解点） | 121℃ |
| 溶解性 | 水 ：難溶 その他 ：メタノールに難溶 クロロホルム、アセトン、アセトニトリルに易溶 |
| 吸収特性 | 214nm(ε=10145) 248nm(ε=858) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 2-(11)-79 |
| 変異原性 | 微生物を用いる変異原性試験 陰性 |
| 経口毒性 | >2000mg/kg(Rat) |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
