WPAG-170
キレイな半導体をつくる
(Bis(tert-butylsulfonyl)diazomethane)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
![WPAG-170の構造式](image/WPAG-170.png)
CAS RN® | 138529-84-7 |
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分子量 | 282.38 |
物性
外観 | 形状:結晶性粉末 色:淡黄色~黄色 |
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融点(分解点) | 121℃ |
溶解性 | 水 :難溶 その他 :メタノールに難溶 クロロホルム、アセトン、アセトニトリルに易溶 |
吸収特性 | 214nm(ε=10145) 248nm(ε=858) |
関連法規・安全性
消防法 | 非該当 |
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毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
化審法 | 告示されていない |
安衛法 | 2-(11)-79 |
変異原性 | 微生物を用いる変異原性試験 陰性 |
経口毒性 | >2000mg/kg(Rat) |
TSCA | Not Listed |
EINECS | Not Listed |
REACH | Not Listed |