Japan
WPAG-145
キレイな半導体をつくる
(Bis(cyclohexylsulfonyl)diazomethane)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 138529-81-4 |
|---|---|
| 分子量 | 334.45 |
物性
| 外観 | 形状：結晶又は結晶性粉末 色：白色～淡黄色 |
|---|---|
| 融点 | 130.1～130.6℃ |
| 溶解性 | 水 ：難溶 その他 ：エタノール、ｎ－ヘキサンに難溶 アセトン、酢酸エチルに易溶 |
| 吸収特性 | 216nm(ε=10300) 248nm(ε=710) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 3-(4)-461 |
| 変異原性 | 微生物を用いる変異原性試験 陰性 |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
