WPAG-145
キレイな半導体をつくる
(Bis(cyclohexylsulfonyl)diazomethane)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
![WPAG-145の構造式](image/WPAG-145.png)
CAS RN® | 138529-81-4 |
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分子量 | 334.45 |
物性
外観 | 形状:結晶又は結晶性粉末 色:白色~淡黄色 |
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融点 | 130.1~130.6℃ |
溶解性 | 水 :難溶 その他 :エタノール、n-ヘキサンに難溶 アセトン、酢酸エチルに易溶 |
吸収特性 | 216nm(ε=10300) 248nm(ε=710) |
関連法規・安全性
消防法 | 非該当 |
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毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
化審法 | 告示されていない |
安衛法 | 3-(4)-461 |
変異原性 | 微生物を用いる変異原性試験 陰性 |
TSCA | Not Listed |
EINECS | Not Listed |
REACH | Not Listed |