Japan
WPAG-638
キレイな半導体をつくる
(Tris(4-methylphenyl)sulfonium nonafluorobutanesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 722538-68-3 |
|---|---|
| 分子量 | 604.56 |
物性
| 外観 | 形状：結晶 色：白色 |
|---|---|
| 融点 | 94.8℃ |
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：アセトニトリル、メタノール、酢酸エチルに易溶 n-ヘキサン、イソプロピルエーテルに不溶 |
| 吸収特性 | 242nm(ε=25290) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 告示されていない |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
