WPAG-638
キレイな半導体をつくる
(Tris(4-methylphenyl)sulfonium nonafluorobutanesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
![WPAG-638の構造式](image/WPAG-638.png)
CAS RN® | 722538-68-3 |
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分子量 | 604.56 |
物性
外観 | 形状:結晶 色:白色 |
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融点 | 94.8℃ |
溶解性 | 水 :不溶 その他 :アセトニトリル、メタノール、酢酸エチルに易溶 n-ヘキサン、イソプロピルエーテルに不溶 |
吸収特性 | 242nm(ε=25290) |
関連法規・安全性
消防法 | 非該当 |
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毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
化審法 | 告示されていない |
安衛法 | 告示されていない |
TSCA | Not Listed |
EINECS | Not Listed |
REACH | Not Listed |