Japan
WPAG-469
キレイな半導体をつくる
(20% PGMEA Solution)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| 化学名 | [4-Methylphenyldiphenylsulfonium nonafluorobutanesulfonate] |
|---|---|
| CAS RN® | 284474-28-8 |
| 分子量 | 576.49 |
物性
| 外観 | 形状：澄明液体 色：無色 |
|---|---|
| 融点 | 102～103℃ |
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：メタノール、アセトン、ＴＨＦ、ジメチルスルホキシドに可溶 |
| 吸収特性 | 237nm(ε=17898) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 危険物第四類第ニ石油類（非水溶性液体） |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | [4-メチルフェニルジフェニルスルホニウムノナフルオロブタンスルホナート]: 告示されていない [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA): 2-3144 |
| 安衛法 | [4-メチルフェニルジフェニルスルホニウムノナフルオロブタンスルホナート]: 告示されていない [プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA): 公表化学物質 |
| 経口毒性（LD50） | >8532 mg/kg ( Rat ) |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
