Japan
WPAG-336
キレイな半導体をつくる
(Diphenyl-4-methylphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 81416-37-7 |
|---|---|
| 分子量 | 426.47 |
物性
| 外観 | 形状：結晶 色：白色 |
|---|---|
| 融点 | 102℃ |
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：アセトン、ＰＧＭＥＡに可溶 |
| 吸収特性 | 236nm(ε=19117) 248nm(ε=17424) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 告示されていない |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
