WPAG-336
キレイな半導体をつくる
(Diphenyl-4-methylphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
![WPAG-336の構造式](image/WPAG-336.png)
CAS RN® | 81416-37-7 |
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分子量 | 426.47 |
物性
外観 | 形状:結晶 色:白色 |
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融点 | 102℃ |
溶解性 | 水 :不溶 その他 :アセトン、PGMEAに可溶 |
吸収特性 | 236nm(ε=19117) 248nm(ε=17424) |
関連法規・安全性
消防法 | 非該当 |
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毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
化審法 | 告示されていない |
安衛法 | 告示されていない |
TSCA | Not Listed |
EINECS | Not Listed |
REACH | Not Listed |