Japan
WPAG-367
キレイな半導体をつくる
(Diphenyl-2,4,6-trimethylphenylsulfonium p-toluenesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 347841-51-4 |
|---|---|
| 分子量 | 476.66 |
物性
| 外観 | 形状：結晶性粉末 色：白色 |
|---|---|
| 融点 | 112～113℃ |
| 溶解性 | 水 ：可溶 その他 ：メタノール、塩化メチレン、アセトンに可溶 |
| 吸収特性 | 193nm(ε=118131) 248nm(ε=14722) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 告示されていない |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
