WPAG-199
キレイな半導体をつくる
(Bis(4-methylphenylsulfonyl)diazomehtane)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
CAS RN® | 14159-45-6 |
---|---|
分子量 | 350.41 |
物性
外観 | 形状:結晶又は結晶性粉末 色:淡黄色~黄色 |
---|---|
融点 | 121.4~122.4℃ |
溶解性 | 水 :難溶 その他 :エタノール又はn-ヘキサンに難溶 アセトン、酢酸エチルにやや易溶 |
関連法規・安全性
消防法 | 危険物第五類ジアゾ化合物(第ニ種自己反応性物質) |
---|---|
毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
化審法 | 告示されていない |
安衛法 | 告示されていない |
経口毒性 | >2000mg/kg(Rat) |
TSCA | Not Listed |
EINECS | Not Listed |
REACH | Not Listed |