エレクトロニクス材料のイメージ画像

光酸発生剤

WPAG-199

キレイな半導体をつくる

(Bis(4-methylphenylsulfonyl)diazomehtane)

半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど

WPAG-199の構造式
CAS RN® 14159-45-6
分子量 350.41

物性

外観 形状:結晶又は結晶性粉末
色:淡黄色~黄色
融点 121.4~122.4℃
溶解性 水 :難溶
その他 :エタノール又はn-ヘキサンに難溶 アセトン、酢酸エチルにやや易溶

関連法規・安全性

消防法 危険物第五類ジアゾ化合物(第ニ種自己反応性物質)
毒物及び劇物取締法 非該当
化審法 告示されていない
安衛法 告示されていない
経口毒性 >2000mg/kg(Rat)
TSCA Not Listed
EINECS Not Listed
REACH Not Listed