エレクトロニクス材料のイメージ画像

光酸発生剤

WPAG-370

キレイな半導体をつくる

(Diphenyl(4-methoxyphenyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)

半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど

WPAG-370の構造式
CAS RN® 116808-67-4
分子量 442.47
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物性

外観 形状：結晶性粉末
色：白色～淡黄色
融点 102～103℃
溶解性 水 ：不溶
その他 ：ヘキサン、トルエンに不溶 酢酸エチル、ＩＰＡに可溶、
　　　　　アセトン、メタノール、塩化メチレンに易溶
吸収特性 193nm(ε=52610)
248nm(ε=9000)

関連法規・安全性

消防法 非該当
毒物及び劇物取締法 非該当
化審法 告示されていない
安衛法 告示されていない
TSCA Not Listed
EINECS Not Listed
REACH Not Listed