Japan
WPAG-370
(Diphenyl(4-methoxyphenyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)
半導体デバイス製造用フォトレジスト向けなど
| CAS RN® | 116808-67-4 |
|---|---|
| 分子量 | 442.47 |
物性
| 外観 | 形状：結晶性粉末 色：白色～淡黄色 |
|---|---|
| 融点 | 102～103℃ |
| 溶解性 | 水 ：不溶 その他 ：ヘキサン、トルエンに不溶 酢酸エチル、ＩＰＡに可溶、 アセトン、メタノール、塩化メチレンに易溶 |
| 吸収特性 | 193nm(ε=52610) 248nm(ε=9000) |
関連法規・安全性
| 消防法 | 非該当 |
|---|---|
| 毒物及び劇物取締法 | 非該当 |
| 化審法 | 告示されていない |
| 安衛法 | 告示されていない |
| TSCA | Not Listed |
| EINECS | Not Listed |
| REACH | Not Listed |
